第三百四十七章 半导体产业会议 (第1/2页)
六月二十六日,徐申学视察了海湾科技,看到了已经处于量产阶段的HDUV-600型光刻机。
当天晚上,海湾科技也在官网上首次公开了新一代DUV浸润式光刻机HDUV-600进入量产的消息。
并公布了该型光刻机已经交付了第一台给智云微电子,将会用于最先进的等效七纳米工艺。
这也是海湾科技首次对外公布该型光刻机的消息,包括一些详细的技术参数。
这个消息也引来了媒体、业内人士甚至普通人的诸多关注。
当天晚上,七点半新闻重点报告了该消息:本台记者消息,我国先进半导体装备企业海湾科技有限公司已经完成了最新一代DUV浸润式光刻机的研发工作。
新型的HDUV-600型光刻机已经达到国际领先水平,填补了我国尖端半导体装备领域的空白,有力促进了我国半导体制造行业的发展。
海湾科技负责人王道林表示,HDUV-600光刻机的各项技术参数已经达到国际领先水平,乃是当下最先进的光刻机,可以用来制造最低七纳米工艺的芯片
一项设备的研发成功,能够做到上七点半新闻报道的程度,那可不容易,很少有设备能够做到这种程度的。
但是光刻机却是可以!
实际上,这不是海湾科技第一次上七点半新闻,实际上之前在HDUV-400光刻机,也就是第一代DUV浸润式光刻机研发成功后,就已经上过七点半新闻了,而当时的报道时长更长,更重视,还伴随着重要人员的视察……
当时电视报道画面,徐申学都只能站在一旁担任解说,为一群来宾介绍海湾科技的HDUV-400型光刻机,陈述该型光刻机的重要历史意义以及现实意义。
现在报道HDUV-600型光刻机的待遇,说实话都差了点……不过好歹也是关键技术突破,所以常规报道还是会有的。
HDUV-600型研发成功并交付量产,这让国内很多人,尤其是一些自诩业内人士都感叹:是我太保守了。
前几年海湾科技搞出来HDUV-400型号光刻机的时候,也引起了一片舆论的狂欢,不少业内人士也积极参与讨论。
当时也有相关的探讨,那就是:
海湾科技的光刻机,什么时候才能够追上ASML的水准。
毕竟当时的HDUV-400光刻机,其性能也就大概和NXT-1950相当。
而NXT1950出现的时候,那已经是2008年的事了,而该款光刻机也是推动半导体的芯片工艺从以往的六十五纳米,下探到32/28纳米工艺的核心设备。
或者说,正是因为有了这款光刻机,才让32/28工艺具备了大规模量产的可行性。
海湾科技可是花了好多年才弄出来了核心性能相当,但是生产效率还差一些的HDUV-400型光刻机……但是,这款光刻机历史意义重大,因为该款光刻机的出现,意味着海湾科技突破了一系列DUV浸润式光刻机的关键技术。
当时,人们所畅想的是,海湾科技继续努力,争取三年一个台阶,在解决28纳米工艺之后,三年内解决可以进行双重曝光,能够把工艺下探到10-22纳米工艺的光刻机。
至于更进一步,甚至能够进行四重曝光的光刻机,乐观估计,五年内能够解决就是巨大的胜利。
但是让人没有想到的是,海湾科技在突破了DUV浸润式光刻机的关键技术后,在小型号的快速迭代上进展迅速,几乎一年一个台阶。
去年推出HDUV-500型光刻机,把套刻精度做到了三点五纳米,实现了双重曝光的基本需求,可以用来做十四纳米工艺的芯片,一开始的性能上基本和NXT1965相当,但是不太成熟。
后来海湾科技推出了升级型号HDUV-500A,虽然工作台产能一样,不过性能更好,更稳定,这款光刻机的性能除了产能低一些,其他性能指标基本上和NXT1970持平。
而智云微电子以及隔壁的中芯,还有国内其他一些芯片厂商大规模采购的海湾科技的先进光刻机,其实都不是HDUV-500型号,而是HDUV-500A型。
去年搞出来500型号就已经够夸张的了,结果海湾科技愣是在今年六月份的时候,就交付了更新一代的HDUV-600型,把套刻精度直接拉到了二点五纳米的水准。
这一型号的核心性能水准,已经和NXT1980相当了……虽然还是有着老毛病,因为工作台不太行,所以生产效率低,后续的维护也会比较麻烦,但是还是太吓人了。
而要知道,虽然去年ASML就已经搞出来了NXT1980光刻机,但实际上大规模出货也是在今年年初而已。
而海湾科技的同级别光刻机大规模出货,则是迟了半年左右!
这意味着,双方之间的差距从之前的十多年,再到四五年,然后又缩小到了现在的半年。
这一系列的技术进步速度,让很多人都感觉到不可思议。
别说外人不信了,自己人都不信……太尼玛夸张了。
因此很多人也怀疑,海湾科技是不是抄袭了ASML的技术……还别说,他们没怀疑错,海湾科技还真就直接对着ASML的光刻机抄。
抄就抄了,也没啥好丢人的,毕竟技术路线就那么几条,总不能人家在前头走过的路,海湾科技就不能走了啊。
徐申学也好,海湾科技的研发人员也好,从不避讳这些,能抄就抄,抄不了硬抄……银河安保那边每年都送回来不少技术资料呢,这些技术资料不少都是带着血的,你说不抄就不抄啊?
再者光刻机这东西,原理其实全世界都知道,甚至详细结构的示意图这些都能直接在互联网上搜索到。
但是知道原理,知道结构的人多了去,然而能够真正做出来这种级别光刻机的厂商,目前只有两家:ASML以及海湾科技。
这种级别的东西,把所有详细设计图全部送给你抄,还手把手教你,做不出来就是做出来,海湾科技得到EUV光源系统的完整设计资料都好几年了,还不是没能搞出来……
因为难的不是光刻机的设计本身,而是各子系统!
尤其是各子系统里的各种高精尖的零部件!
DUV光刻机里头的镜片……就摆在那里,各种技术指标全球都知道,有本事你也造一个……
全球范围内能够造这种镜片的只有三家厂商:德国蔡司,尼康,仙女山控股旗下的南江科技。
南江科技的镜片除了供给光刻机外,还供给卫星,科研设备,顺带也做民用的消费级镜片,比如手机摄像头的镜片这些,乃是目前国内技术能力最顶级,全球范围也是前三的存在。
为什么南江科技能做这种镜片?因为他们拥有多家研究机构手工定制的专项设备,比如离子束抛光机……其他企业,你连购买这些设备的途径都没有。
因为这些设备根本就不是市面上的量产设备,而是属于严格管控,各科研所里折腾出来的顶级设备!
没有一大串部门的批文,根本买不到。
HDUV-600光刻机,也算是当下最顶级的工业设备了,这玩意其实可以随便卖,是个国内晶圆厂企业都能采购到,甚至海外晶圆厂经过批准也能购买。
但是造光刻机零配件的一些核心设备,看都不给你看……
很多东西,不是说想要抄袭都能抄袭的,想要抄袭,你也得造的出来才行……
从材料到加工,每一步都是天坑。
海湾科技的背后,是仙女山控股体系两百多家企业,而仙女山控股体系的背后,是国内数千家企业以及一百多个研究所,数十所顶级高校……其他企业,很难搞的,没这条件。
当然,如果是欧美系国家的企业,他们不受制裁,可以自由的获得整个欧美日韩体系的工业成功,那么也能够攒出来……只不过对于欧美系的厂商而言,这么做得不偿失,得亏死他们。
光刻机市场很小的,一年也才那么一百多亿美元的市场,属于非常小众,且门槛极高的小众市场。
欧美市场有了ASML在前头拦着,尼康和佳能的生存空间极限,已经举步维艰,此外美国英特尔,格罗方德,高通等美国半导体行业公司,一度想要在美国搞一家光刻机厂商,这个过程当年徐申学其实也有参与……为的是给ASML使绊子。
但是后续这个计划举步维艰,最后英特尔等公司也是不得不放弃,转而采取了控制ASML的方式。
而华夏这边其实也差不多,已经有了海湾科技在前头,国内市场基本上没有第二家光刻机厂商生存的空间了。
所以,在这个行业里,能抄都算是你本事……
而海湾科技,则是属于那个能抄出来的!
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海湾科技的HDUV-600型号光刻机量产并出货,引起了业内人士的一些讨论,也引起了一些普通人的关注。
而国内的一票晶圆厂们一个个各种资讯打探,然后下订单,苦巴巴等着这种先进光刻机。
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